Bump高度、直徑、共面性在線檢測(cè)

l  凸塊（Bump）高度

l  凸塊（Bump）共面性

l  凸塊（Bump）直徑

多光束共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

如果反射光線的物體表面位于與點(diǎn)光源共軛的位置，那么高速測(cè)量是不可能的。只有與單個(gè)zj共軛的單一光束測(cè)量才能實(shí)現(xiàn)。此系統(tǒng)的測(cè)量傳感器在zj陣列中擁有超過(guò)3百萬(wàn)個(gè)zj點(diǎn)，能夠通過(guò)多光束系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。