主要配置 主要配置 參數(shù) 型號(hào) FalconScan-20 入射光斑 20mm 跟隨誤差 0.34ms 重復(fù)精度 <1μrad 零位漂移 <15μrad/K無水冷 / <10μrad/K有水冷 增益漂移 <8ppm/K 8小時(shí)漂移 <0.04mrad 1%全行程 0.7ms 10%全行程 2.2ms 加工速度 1.5m/s  定位速度  6m/s 小字符速度 High quality 230cps / Good quality 340cps 掃描角度 ±0.35rad 增添誤差 <5mrad 零位誤差 <5mrad 定位噪聲RMS <1μrad 非線性度 <0.1%  供電電源 ±15V DC，≥5A 通訊接口 XY2-100 Enhanced；JCZ24-100 工作溫度 25±10℃ 冷卻方式 水冷 *注: 典型參數(shù)，可以根據(jù)工藝需求作定制調(diào)校  典型應(yīng)用 FalconScan-20精密振鏡可用于金屬3D打印、半導(dǎo)體、精密微孔/切割、光伏加工、航空航天等。